伴随5G的发展,InP半导体的需求增加
在半导体元器件领域,长期以来使用的材料是Si(硅)半导体,但在面向下一代通信基础设施(5G/6G通信,数据中心)的市场上,为迎合应用端更高速化・大容量化的需求,开始使用化合物半导体即InP(磷化铟)。由于InP具备高电子迁移率和低消耗电力等材料特性,作为材料之一,常被用于光收发器的半导体二极管中。
需求
采用前的状态、问题
InP半导体品质维持不变,力争降低成本。
解决方案
问题的解决策略
推荐能应对InP晶圆划痕宽度小的金刚石划线刀。
要点
决定采用的理由
由于具备精湛的金刚石加工技术和稳定的量产技术,前端形状稳定性好。
结果
情况与效果
被采纳用于面向5G前传的芯片工程中。
需求采用前的状态、问题

InP半导体品质维持不变,力争降低成本

虽然InP半导体具备高功能・高性能的优点,但是也存在成本昂贵的问题。因此半导体厂家为减少成本,会提高1枚InP晶圆上的芯片集成度。晶圆的划痕宽度为100μm以下,晶圆的小芯片尺寸为170μm×170μm。划痕宽度越小,晶圆的有效使用率就越高,市场需求是把划痕宽度小的晶圆高精度芯片化。

解决方案问题的解决策略

推荐能应对InP晶圆划痕宽度小的金刚石划线刀

为了提高用在半导体二极管的芯片发光的效率,两端平面要光滑与光的方向垂直。因此使用切割的划线法是Inp晶圆芯片化中的主流。Tecdia推出坡度为5度的金刚石划线刀,适用于晶圆材料中柔软的Inp(硬度为460)。划线刀经过了高精度加工,刀刃棱线不会接触电子线路,采取划线的方式,能稳定地控制龟裂,从而实现了高精度芯片化。

要点决定采用的理由

由于具备精湛的金刚石加工技术和稳定的量产技术,前端形状稳定性好

晶圆芯片化的成品越小型,性能越高,加工条件的要求就越高。在划线方法上,划线技术和划线装置和以前一样,金刚石划线刀本身的品质会影响芯片化的精度。由于Inp的材料柔软,其受的影响更加明显。对旨在实现全自动化的客户而言,Tecdia的量产技术也获得了很高的评价,该技术可支持大量稳定地生产近乎完美的金刚石划线刀。

结果情况与效果

被采纳用于面向5G前传的芯片工程中

Tecdia的金刚石划刻刀具有多种形状,可以切割InP之外的多种材料,例如GaAs,GaN和SiC等。也可以应对客户要求的定制产品。如果您想使用划线方法实现高精度芯片化的话,请随时与我们联系。

客户信息

 

半导体电子部件厂家(半导体二极管)

 

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