科钻(上海)贸易有限公司TECDIA

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高集成电路陶瓷基板技术(HCT)

通过高精度干法刻蚀技术现实了20μm宽度的氮化钽电路。

引领世界宇宙空间开发的美国航空航天局,为了揭露行星的形成过程,每天都在对宇宙空间进行着观测。这是一种利用从投放到平流层中的热气球上进行定点摄影,计算、测量和分析行星变化的技术。拍摄时,需要一种高灵敏度红外线相机技术来扑捉那些从遥远的宇宙中射来的微量光粒子。
为了满足NASA能够鲜明地对光粒子进行拍摄要求,TECDIA提供了高集成电路陶瓷基板技术(HCT)。

需求

采用前的状态、问题

NASA一直在寻求超高传导性电路基板。

解决方案

问题的解决策略

提供高精密20μm宽度氮化钽电路基板

要点

决定采用的理由

高精度干法刻蚀技术。

结果

情况与效果

正在研发中。

需求采用前的状态、问题

NASA一直在寻求超高传导性电路基板。

NASA一直在寻求能够清晰拍摄宇宙的超高传导性能的电路基板。对于这种电路他们指定的材料是氮化钽(TaN)。
然而,氮化钽通常是当电阻膜来使用中,制成中容易出现断线或降低电路的精度现象。因此在氮化钽的应用中,如何保持一致性,高精度的电路,已成为了一个主要研发课题。

解决方案问题的解决策略

运用TECDIA的加工技术实现了宽度为20μm的氮化钽电路基板。

TECDIA运用从创业初期至今积累的加工技术,提供了高集成电路陶瓷基板技术(HCT),为NASA提供了解决方案。
在可承受平流层的特殊环境而且耐用的氧化铝基板上,我们运用氮化钽实现了20μm宽度的高精密电路。
干法刻蚀技术来进行回路制作,干法刻蚀是非常高超的工艺制程,为了形成电路的厚度,也必须通过反复试验来确保电路的精度。

20μm宽度的氮化钽电路基板。
右上是NASA的LOGO,左下是TECDIA的LOGO。

要点决定采用的理由

运用刻蚀技术制造了高精度的电路基板。
运用TECDIA的加工技术,实现的宽为20μm薄而均匀的氮化钽电路受到了高度评价。
此外,快速提供样品和坚持不懈为客户提供最优质且更完善方案的态度,成为TECDIA被采用的主要因素。

结果情况与效果

经过了NASA非常严格的测试,TECDIA最终被决定采用。现在,相机正在保护箱内进行着对平流层观测的试验阶段。

客户信息

美国、美国国家航空航天局(NASA)